Bilik bersih ialah persekitaran terkawal yang mengawal selia kepekatan zarah bawaan udara, mikroorganisma dan bahan cemar kimia dengan ketat. Objektif utamanya termasuk:
Bilik bersih moden terutamanya ditakrifkan mengikut sistem ISO 14644. ISO 5 adalah setara dengan sistem tradisional Bilik bersih Kelas 100 , bermaksud maksimum 100 zarah ≥0.5 μm setiap kaki padu udara. Tahap ini biasanya digunakan dalam industri permintaan tinggi seperti pemprosesan bahagian hadapan semikonduktor, pembuatan optik dan bioteknologi.
Berkait : APAKAH ITU BILIK BERSIH: Panduan Komprehensif untuk Konsep dan Aplikasi Teras
|
Pengelasan ISO |
Bilangan Maksimum Zarah di Udara |
|||||
|
(Zarah dalam setiap meter padu = atau >saiz yang ditentukan) |
||||||
|
>0.1 μm |
>0.2 µm |
>0.3 µm |
>0.5 µm |
>1.0 µm |
>5.0 µm |
|
|
ISO 1 |
10 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
- |
- |
- |
|
ISO 3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
- |
- |
|
ISO 4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
- |
|
ISO 5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
- |
|
ISO 6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
298 |
|
ISO 7 |
- |
- |
- |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
ISO 8 |
- |
- |
- |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
ISO 9 |
- |
- |
- |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
Bilik bersih ISO 5 mempunyai had ketat untuk zarah dengan saiz yang berbeza:
Oleh itu, ISO 5 biasanya digunakan untuk fotolitografi, pembangunan dan proses kritikal di mana zarah terkecil sekalipun boleh memberi kesan kepada kualiti.
Bilik bersih ISO 5 biasanya menggunakan aliran udara searah (laminar) reka bentuk. Perkara utama reka bentuk termasuk:
Pengurusan aliran udara merupakan salah satu teras Keperluan bilik bersih ISO 5 .
Bilik bersih ISO 5 biasanya menggunakan:
Penapis ialah "barisan pertahanan terakhir" dan prestasinya secara langsung mempengaruhi sama ada bilik bersih memenuhi tahap kebersihan yang dimaksudkan.
Mengekalkan kestabilan ISO 5 memerlukan kawalan ketat terhadap:
Parameter ini bukan sahaja mempengaruhi keselesaan tetapi juga secara langsung mempengaruhi hasil dan kestabilan dalam proses mikrofabrikasi.
Bahan yang digunakan dalam bilik bersih ISO 5 mestilah:
Dinding, siling, papan bawah dan ruang penembusan mesti mempunyai binaan yang lancar dan mudah dibersihkan. Sebarang celah boleh menjadi sumber pencemaran.
Sejak Bilik bersih Kelas 100 dan ISO 5 adalah setara, prinsip reka bentuk adalah sama.
Susun atur yang berkesan mengurangkan aliran balik pencemaran dan pencemaran silang:
Faktor-faktor ini secara langsung mempengaruhi sama ada bilik bersih dapat mengekalkan tahap kebersihannya dari semasa ke semasa.
ISO 5 / Bilik bersih Kelas 100 Sistem HVAC dan FFU memerlukan kawalan yang tepat terhadap:
Reka bentuk HVAC yang baik mengimbangi kecekapan tenaga, kestabilan sistem, kawalan hingar dan memastikan kebersihan udara bilik bersih dan aliran seragam.
Bilik bersih ISO 5 moden semakin bergantung pada automasi dan pemantauan data:
Sistem ini mengurangkan penyelenggaraan manual dan membantu mengekalkan pematuhan ISO 5 dengan cekap.
Bilik bersih ISO 5 digunakan secara meluas dalam:
Semua industri ini mempunyai sensitiviti yang tinggi terhadap pencemaran zarahan.
Amalan utama termasuk:
Penyelenggaraan yang betul memastikan bilik bersih kekal stabil jangka panjang , bukan sekadar patuh dalam jangka pendek.
Bilik bersih ISO 5 biasanya memerlukan:
Ini memastikan pematuhan berterusan dengan piawaian ISO 14644.
Ramai dalam industri ini mengelirukan Bilik bersih Kelas 100 dan ISO 5, dengan mengandaikan ia mewakili tahap kebersihan yang berbeza. Malah, ia adalah setara tetapi ditakrifkan di bawah piawaian yang berbeza.
Memahami kesetaraan ini adalah penting untuk projek antarabangsa, memastikan pematuhan dengan piawaian global dan memudahkan pengesahan dan pensijilan.
Membina bilik bersih gred tinggi yang beroperasi secara stabil dalam jangka masa panjang memerlukan pemahaman yang mendalam dan pelaksanaan penuh
Keperluan bilik bersih ISO 5
Daripada susun atur, kebersihan udara dan penapisan kepada strategi O&M, setiap elemen menentukan sama ada bilik bersih benar-benar dapat memenuhi keperluan
Bilik bersih Kelas 100
piawaian. Wonclean menyediakan penyelesaian bersepadu daripada reka bentuk, pembinaan hingga pengesahan, memastikan bilik bersih bukan sahaja memenuhi piawaian tetapi juga sentiasa menyokong aktiviti pengeluaran dan R&D dari semasa ke semasa.